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| 品牌 | EXINFENG/億信豐 |
|---|
1.射頻發生器（RF）
| 電路類型 | 電感反饋式自激振蕩電路，全自動點火，同軸電纜輸出匹配調諧，取功率反饋，進行閉環自動控制。 | 工作頻率 | 40.68MHZ±0.05% |
| 頻率穩定性 | <0.1% | ||
| 輸出功率 | 800－1500w | ||
| 輸出功率穩定性 | ≤0.3% | ||
| 電磁場泄漏射強度 | 距機身30cm | ||
| 電場強度E | <1V/m | ||
| 磁場強度H | <0.2A |
2.進樣裝置:
| 輸出工作線圈內徑 | 25mm， 3匝 | 炬管 | 三同心Fassel型，外徑20mm的石英炬管 |
| 同軸型噴霧器外徑 | 6mm | 雙筒形霧室外徑 | 35mm |
| 氬氣流量計規格和載氣壓力表規格 | 等離子氣流量計（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min) | ||
| 輔助氣流量計（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min) | |||
| 載氣流量計（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min) | |||
| 載氣穩壓閥（0-0.6M Pa） | |||
3、測光裝置:
| 光電倍增管規格 | R212UH | 信號采集為V/F交換 | 1mV對應100Hz |
| 光電倍增管負高壓 | 200-1000V 穩定性<0.05% | 光電倍增管電流測量范圍 | 10-12 -10-4A |
| 光路 | Czerny- Turner | 焦距 | 1000mm |
| 光柵規格 | 離子刻蝕全息光柵 | 刻線密度 | 3600線/mm |
| 分辨率 | ≤0.008nm | 刻線面積 | 80×110mm |
| 掃描波長范圍 | 3600線/mm | 波長范圍 | 180-500 nm |
| 透鏡 | ф30，1：1成像 | 入射狹縫 | 20µm |
| 發射鏡規格 | （105 × 105 × 16）mm | 出射狹縫 | 25µm |
| 步進電機驅動zui小步距 | 0.0005nm | ||
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